含氟特气
含氟特气
电力绝缘气体：全氟异丁腈作为中高压电力绝缘气体,起到灭弧保护作用，具有低GWP，是常规电力绝缘气体SF6（一种强效温室气体）的优质替代材料，通常用于中压和高压输电和配电基础设施的绝缘与保护。在电网商用设备中，使用含氟特气混合气体替代SF6，能够减少99%的碳排放，可大大降低对环境的影响。
干法蚀刻气体：六氟异丁烯作为高纵横比的集成电路蚀刻用气体，可应用于半导体工业中的存储应用(如:DRAM、3D NAND)，也可作为中间体用于合成其他材料来改善性能。
电力绝缘气体：全氟异丁腈作为中高压电力绝缘气体,起到灭弧保护作用，具有低GWP，是常规电力绝缘气体SF6（一种强效温室气体）的优质替代材料，通常用于中压和高压输电和配电基础设施的绝缘与保护。在电网商用设备中，使用含氟特气混合气体替代SF6，能够减少99%的碳排放，可大大降低对环境的影响。
干法蚀刻气体：六氟异丁烯作为高纵横比的集成电路蚀刻用气体，可应用于半导体工业中的存储应用(如:DRAM、3D NAND)，也可作为中间体用于合成其他材料来改善性能。
