一、絶縁ガス
代表製品:パーフルオロイソブチロニトリル(C₄F₇N)
製品説明:
パーフルオロイソブチロニトリルは絶縁性能と消弧性能を有する絶縁ガスである。主に中・高電圧送電システムや配電設備の絶縁・保護に用いられている。従来の絶縁ガスの六フッ化硫黄(SF₆)より、地球温暖化係数(GWP)が著しく低く、環境への影響を大幅に低減するため、SF₆の理想的な代替品である。
※ 本品を他のガスと混ぜて使用することより、SF₆より99%の炭素排出の削減が実現する。
二、ドライエッチング用ガス
代表製品:HFIB
製品説明:
HFIBは高アスペクト比の特徴を有するチップエッチングガスである。半導体産業におけるメモリ(DRAM、3D NAND等)製造プロセスのエッチングガスや、半導体材料の反応中間体等の用途としてよく使われている。